




---质谱检漏仪的应用已从科学院、大专院校、实验室及少数科研机构走向工矿企业,甚至乡镇企业、个体企业,可以说应用领域极其宽广。
航空航天---工业
1)例如火箭发动机及姿态发动机,过去是---刷肥皂水检漏,现在重新改进工艺用---质谱检漏仪检漏,采用正压吸枪与---罩法结合,使检漏灵敏度---提高,从而---了发动机。火箭箭体的检漏采用正压吸枪、---罩法、累集法等几种方法的结合。由于检漏技术的应用,提高了检漏灵敏度,弥补了吸入法检漏时仪器灵敏度低的不足。
2)km6空间环模装置设备庞大,主真空室直径12m、高22m,另外有辅助真空室和载人舱等。容积3500m3,分系统多,结构复杂,各种接口焊缝相加有几千米长,采用---质谱检漏仪负压检漏,每条焊缝由检漏盒密封,配以铺助抽气系统将盒内抽低真空后,充入一定压力---气,关闭预抽阀,开启检漏阀。由于盒内---浓度较高,相对检漏仪又有一定压力,因此有效提高了检漏灵敏度。
3)航天工业中,卫1星、各类阀门、电子元器件,传感器等等都在广泛应用---质谱检漏仪及其检漏技术。
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选择示漏气体(示踪气体)的原则是:它在空气中及真空系统中的含量低;检漏仪对示漏气体的灵敏度高;它不会对人员、环境、被检件及检漏仪造成污染、伤害和安全---;价格低。
质谱检漏仪通常选择---气作示踪气体,主要原因如下:
1、---在空气中及真空系统残余气体中的含量极1少(在空气中约含5.2ppm),在材料出气中也很少,因此本底压力小,输出的本底电流也小。正因为本底小,由某些原因引起本底的波动,亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来,灵敏度高。
2、---的小(相对分子为4),易于穿过漏孔。这样,---较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大,容易发现,灵敏度高。
3、---是惰性气体,不与被检件器壁起化学反应,不会污染被检件,使用安全。
4、在---两侧的是氢(质荷比为2)和双电荷原子碳(质荷比为6),质荷比都与---相差较大。这样,它们在分析器中的偏转半径相差也大,容易分开,定标找---峰时,不易受其他离子的干扰,因此就降低了对分析器制造精度的要求,易于加工。同时,分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大,使更多的---离子通过,提高了仪器灵敏度。
5、---在被检件及真空系统中不易被吸附。这样检出一个漏孔可以使---信号迅速消失以便继续进行检漏,提高了仪器的检漏效率。
6.氢气有些性能(如小、易通过漏孔)比---还好,然而由于氢一方面有易1爆危险,另一方面在油扩散泵中,由于油受热裂解会产生大量的碳和氢,使氢本底---且波动大,以致灵敏度---降低,所以很少采用。
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水检和---检两种检漏方法的分析
目前,水检和---检两种检漏方法国内汽车空调两器检漏主要的方法,下面将分析两种检漏方法的优缺点。
1.1 传统水泡法检测分析
水泡检漏法,属于检测精度要求不高的粗检漏,就是将被检工件充入一定压力的干燥压缩空气或者是氮气,然后放入水中,冷凝器---质谱检漏仪生产厂家,观察是否有气泡从被检工件中跑出来,如果有,则说明漏,而且---什么位置泄漏,一般只确定被检件是漏还是不漏,而不需定量。但并不是说气泡检漏就不能定量。在某些情况下,气泡检漏也可以定量。检出气泡的漏率与气泡直径、气泡形成速率、充气的种类有关。
因此,对于空调两器检漏来说,采用水检方法,灵敏度较低。受人为因素影响,漏判误判率会明显增加。另外,工件水检后,外表面有水,需烘干处理,耗电多,耗费劳动力也多。但水检法也有优点,就是操作简单直观,而且能够查找漏点位置。
1.2 ---质谱检漏方法分析
---质谱检漏是以---作探索气体,对各种需密封的容器的漏隙进行快速定位和定量检测的理想方法。
---质谱检漏法有优点在于:---是惰性气体,对---无污染,使用安全;---原子小,黏度小,易渗透过可能存在的漏隙。---气在---中含量小(5ppm),不易受干扰。---质谱检漏仪检测灵敏度高,速度快,适用范围广。
目前国内生产---质谱检漏仪较小可检漏率可达到5.0×10-13 pa·m3/s。目前,---比较流行的针对空调两器检漏方法,多采用真空箱法。
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