真空箱测漏系统

---质谱检漏仪行业应用

质谱仪又称质谱计。分离和检测不同同位素的仪器。即根据带电粒子在电磁场中能够偏转的原理，按物质原子、分子或分子碎片的差异进行分离和检测物质组成的一类仪器。质谱仪按应用范围分为同位素质谱仪、无机质谱仪和有机质谱仪。按分辨本领分为高分辨、中分辨和低分辨质谱仪；按工作原理分为静态仪器和动态仪器。

---气，是一种稀有气体，英文名为helium，元素符号为he，原子序数2。为无色无味的惰性气体，化学性质不活泼，一般状态下很难和其它物质发生反应。常温下，---气是一种极轻的无色、无臭、无味的单原子气体。是所有气体中难液化的，是不能在标准---压下固化的物质。液化后温度降至2.174k时，具有表面张力很小、导热性很强、黏度极低等特殊性质。利用液态---可以得到接近零度的低温

---质谱检漏仪（helium mass spectrometerleakdetector）为气体工业名词术语，用---气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测---气而进行检漏的质谱仪。---气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，---系惰性气体，不腐蚀设备，故常用---作示漏气体。将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对---气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，真空箱测漏系统，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。

---质谱检漏仪常用检漏方法及标准

---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理，实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后，由于---质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。

根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。

真空法---质谱检漏

采用真空法检漏时，需要利用辅助真空泵或检漏仪对被检产品内部密封室抽真空，采用---罩或喷吹的方法在被检产品外表面施---气，当被检产品表面有漏孔时，---气就会通过漏孔进入被检产品内部，再进入---质谱检漏仪，从而实现被检产品泄漏量测量。按照施漏气体方法的不同，又可以将真空法分为真空喷吹法和真空---罩法。其中真空喷吹法采用喷的方式向被检产品外表面喷吹---气，可以实现漏孔的准确定位; 真空---罩法采用有一定密闭功能的---罩将被检产品全部罩起来，在罩内充满一定浓度的---气，可以实现被检产品总漏率的测量。