




---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理,实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后,由于---质谱检漏仪的选择性识别能力,仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
一、负压法
负压法是一种常见而方便的检漏方法。当进行---气检漏时,---被连接到充满---气的瓶子中,并且使用喷将---喷射到泄漏部分。如果---气从泄漏孔流入压力容器装置,装置中---气的分压将上升,泄漏率将显示在---气检漏设备上。它是否合格取决于标准泄漏率。如果超过标准泄漏率,将被视为不合格。
二、正压法
正压方法是首先用一种以上的---压---气或---气的混合气体填充压力容器装置。在压力容器装置的外部检测中,泄漏孔泄漏到外部---气中,然后找到泄漏孔。当用抽吸搜索---气时,一旦---气被吸入,充气柜检漏系统,---气检漏设备将显示泄漏率值。在这种情况下,由于压力容器装置的外部是一个---压,充入压力容器装置的气压需要至少一个---压或更多个---压。然而,压力不应太高。如果压力过高,插入设备的压力表或其他插件会弹出,造成伤害和其他危险事故。
三、---罩法
在这种方法中,用塑料薄膜包裹被测容器,首先除去罩子中的空气,然后充入---气或---气混合气体,检漏仪与被测容器的内部连接,当检漏仪显示泄漏率时,指示泄漏。这个泄漏率称为总泄漏率。总泄漏率是所有泄漏率的总和。如果总泄漏率不超过标准值,则每个泄漏率不超过标准值;如果总泄漏率超过标准值,检查每个点的泄漏率是否超过标准值。然后调整修改超过标准值的泄漏孔,直至达到合格标准。
---质谱检漏仪一般由质谱管,检漏系统,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源,分析器和离子检测器; 真空系统一般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并---成束,以一定能量注入质分析器,sf6真空箱检漏系统,
目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。
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