




如何判断真空系统是否存在漏气,通常采用静态升压法,即把容器抽到一定压强后,关闭阀门将被抽容器与泵隔开,若容器漏气或材料放气,容器中的压强将随时间而上升。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强,可得出压强/时间曲线。由于容器的漏气与出气情况不同,其曲线也不同
1.直线a
压强不随时间变化,说明系统即不漏气,也不放气。真空度上不去的原因是泵工作---。
2.直线b
压强期初上升很快,冷柜内胆---检漏系统,而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡,这说明容器没有漏气。真空度上不去的原因主要是放气的影响。因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低,故曲线渐趋向于平衡。
3.直线c
是一斜率为δp/δt的直线。这说明只有漏气而没有放气。
4.曲线d
开始压强上升较快,而后渐渐减慢,后变成斜率为δp/δt的直线。这说明容器即有放气也有漏气。曲线d可以认为是b和c的叠加。如果出现曲线c和d的情况,则判定系统有漏气。

在氢气管道方面,氢气管采用无缝钢管制成;管道和管件采用焊接连接,以减少可能的泄漏点。管道与设备的喷嘴、阀门等采用法兰或螺纹连接,并在连接中使用金属丝并定期检查粘接电阻,设备或管道端部是否接地---;所述管道上设有空管、取样口和吹扫口,其位置满足管道中气体吹扫和更换的要求,系统上设有含氧量小于0.5%的氮气置换吹扫设施;氢气排气管应导至室外,排气口应高于屋顶高处1m以上。在排气口设置阻火器,防止外部火花进入系统造成事故,并采取防护措施,防止雨雪侵入、碎片堵塞、雷击。

泄漏和密封相对应
很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,pvd,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果---,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。
这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。
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