




1、---气的轻,易于穿过漏孔,进入系统时流动和扩散快,因此响应快,检漏灵敏度高。
2、---离子质荷比小,因此可以减小磁分析器偏转半径的尺寸和选用较弱一点的磁场。同时一阶---离子的质荷比与一阶氢离子、二阶碳离子相差较大,利于离子分离,可以适当降低对分析器制造精度的要求,使质谱室中---离子通过的各个缝隙,空调换热器---测漏设备,从而提高---离子的传输率。
3、---在空气中及残余气体中的含量少,在材料出气中---气也很少,因此本底压力小,检漏时本底信号小。

油雾法
油雾法的测试尘源为油雾,“量”为含油雾空气的浊度,以过滤器前后气样的浊度差别来判断过滤器对油雾颗粒的过滤效率。
德国规定使用石蜡油,油雾粒径为0.3~0.5微米。油雾法在检测过滤器时,容易对过滤器造成损伤,且不能直接读值,浪费时间。
dop法
这种方法曾经是国际上测试过滤器海绵常用的方法。
它的测试尘源为0.3微米单分散相---二---二辛酯(dop)液滴,也称为“热dop”,“量”为含dop空气的浑浊程度。
将dop液体加热成蒸汽,蒸汽在特定的条件下冷凝成微小液滴,去掉过大和过小的液滴后留下0.3微米左右的颗粒,进入风道,通过测量过滤器前后气样的浊度,并由此判断过滤器对0.3微米粉尘的过滤效率。

一个真空系统,经相当长时间抽气之后,仍然达不到预期的真空度,可能的原因有:抽气情况---,即抽气系统本身的问题。放气,即真空系统或容器内部存在气体或气源。漏气,即真空系统或被抽容器存在漏孔或缝隙。至于漏气是检漏技术所要解决的问题,即准确检出漏孔并加以修补。常规检漏内容包括:用适当的方法判断真空系统中漏气问题是否存在。确定漏气率。找出泄漏部位,以便修补堵漏。
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