---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理，实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时，示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出，泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后，由于---质谱检漏仪的选择性识别能力，仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上，通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同，可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法，下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
科仪是生产---质谱检漏仪的厂家，用于电厂检漏。关键部件均为进口，性能。不仅灵敏度高，而且操作方便，能够双灯丝自动切换、自动调零、自动校准和自动量程切换。今天科仪的小编就和大家来分享一下---质谱检漏仪的主要及时指标。
1. 较小可检漏率：5×10-12pa·m3/s
2. 漏率显围：1×10-3—1×10-12pa·m3/s
3. 启动时间：≤5min
4. 响应时间：≤1s
5. 检漏口的较高压力：1500pa
6. 电源要求：220v，50hz，单相，10a
7. 工作环境：5-35℃
8. 相对湿度：≤80%
9. 外形尺寸：550（w）×400（d）×780（h）
10. 重量：64kg
以上就是关于
---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。
逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。
---质谱检漏仪逆扩散原理
逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，---质谱检漏仪可达1000pa（一般常规检漏仪为0.05pa以下），sf6充气柜真空箱测漏设备，适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝---等优点。
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