




(1)内部的密封结构
当检漏仪内部存在泄漏时,会对检漏工作造成较大干扰,容易造成误检、误判。 检漏仪内部主要的密封部位在检漏仪的后侧(见图2),位于隔热板的上方:检漏仪测试口与阀门组块的连接部位,密封方式采用胶灌密封,检漏仪在运输过程中如遇到---震动,此处容易造成密封胶开裂。各电磁阀与阀门组件间的连接部位。密封方式采用氟橡胶圈或金属垫片密封,橡胶圈的密封寿命有限,使用5 年以上时,有可能会存在密封失效的问题。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的金属垫片密封或橡胶圈密封。
(2)定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测,因检漏仪内部结构紧凑,各密封结构间的距离很近,检测时定位难度较大。经摸索,在检测时采用以下技巧,可提高定位的能力:查漏前,先将分子泵风扇的电源断开,避免风扇将---源吹散至各个密封环节,造成定位不准确。喷吹时,要严格控制---源的流量,尽量采用喷咀流量小的喷,提高定位的能力。仪器的反应时间小于1 s,所以在一个部位喷吹的时间约3 s,再等待约3 s 后观测信号有无变化。
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(1)制冷行业
冰箱、空调、汽车用空调、蒸发器、冷凝器、夺缩机、低温储槽。
(2)不锈钢保温器皿
真空保温杯、瓶、锅、饭盒等。
(3)其它
据日本有关文章介绍,日本汽车制造业,已有30多种零部件在使用---质谱检漏仪检漏,解决密封问题。其中包括液压系统、制动系统、转向系统、避震系统、汽车轮毂。
有待于开拓的检漏领域还很多,但由于思想观念的束缚以及经费等诸多原因,在很多领域还一直沿用古老且较为落后的手段处理泄漏问题。产品合格率和生产效率低。从某种---讲,这种工作方式制约了生产力的发展。因此,对于真空---,---是从事真空设备的研制和生产---质谱检漏仪的厂家,应在---质谱检漏仪的应用推广上进一步下功夫,为推动我国真空技术的发展而努力。
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---质谱检漏法是利用---质谱检漏仪的---分压力测量原理,实现被检件的---泄漏量测量。当被检件密封面上存在漏孔时,示漏气体---气及其它成分的气体均会从漏孔泄出,泄漏出来的气体进入---质谱检漏仪后,由于---质谱检漏仪的选择性识别能力,真空箱测漏系统,仅给出气体中的---气分压力信号值。在获得---气信号值的基础上,通过标准漏孔比对的方法就可以获得漏孔对---泄漏量。
根据检漏过程中的示漏气体存贮位置与被检件的关系不同,可以将---质谱检漏法分为真空法、正压法、真空压力法和背压法,下面分别总结了这四种---质谱检漏法的检测原理、优缺点及检测的标准。
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